강의계획서
교과목코드 | DF161759 | 교과목명 | 박막공정 |
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강의학과 | 신소재공학과 | 교수 | 김동훈 |
교수소속 | 신소재공학과 | 이수학년 | |
과목구분 | 과정구분 | 석·박사공통 | |
이메일 | dhkim@mju.ac.kr | 전화번호 |
주차 | 주제 |
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1주차 | 강의 소개 |
2주차 | 박막 기초, 진공 |
3주차 | 물리기상증착 |
4주차 | 플라즈마, 스퍼터링 |
5주차 | 화학기상증착 |
6주차 | ALD |
7주차 | ALD |
8주차 | 중간고사 |
9주차 | 박막 분석법 – XRD, SEM, TEM |
10주차 | 박막 분석법 - 분광법, 조성 분석법 |
11주차 | 연구발표 |
12주차 | 연구발표 |
13주차 | 연구발표 |
14주차 | 연구발표 |
15주차 | 기말고사 |
16주차 | 기말고사 |